场发射电镜是电子显微镜的一种。广泛用于生物学、医学、金属材料、高分子材料、化工原料、地质矿物、商品检验、产物生产质量控制、宝石鉴定、考古和文物鉴定及公安刑侦物证分析。可以观察和检测非均相有机材料、无机材料及在上述微米、纳米级样品的表面特征。
场发射分热场和冷场，共性是分辨率高。热场的束流大些，适合进行分析，但维护成本相对较高，维护要求高。冷场做表面形貌观测是适合的，相对而言维护成本低些，维护要求不算高。
冷热场发射电镜有哪些区别？
1、适用范围不同。
冷场发射扫描电镜是一种用于材料科学、化学领域的分析仪器，而热场发射扫描电镜是一种用于物理学、材料科学、能源科学技术领域的分析仪器。热场发射扫描电镜使用范围更广。
2、技术指标不同。
冷场发射扫描电镜：
辨率：1.0nm (15kV)，2.0nm (1kV)，1.4nm(1KV)入射电子减速功能。放大倍率：×20 ~ ×800,000。加速电压：0.5 ~ 30kV。X射线能谱仪分辨率/有效面积：不低于133eV，10mm2。
热场发射扫描电镜：
放大倍数：35&尘诲补蝉丑;90万倍。分辨率：工作电压15办痴时分辨率为1.0苍尘。加速电压：0.2碍惫&尘诲补蝉丑;30碍惫。能谱：探测元素范围叠5-鲍92。能量分辨率：136别痴。
3、主要功能不同。
冷场发射扫描电镜是超显微、形貌与成分分析相结合。而热场发射扫描电镜是物理学，材料科学，能源科学技术。
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